光刻技术对于电子信息产业的重要性不言而喻。近日，直写光刻设备供应商合肥芯碁微电子装备股份有限公司（简称“芯碁微装”）拟登陆科创板的申请获得受理。公司拟募资4.73亿元，用于高端PCB激光直接成像（LDI）设备升级迭代、平板显示（FPD）光刻设备研发、晶圆级封装（WLP）直写光刻设备产业化、微纳制造技术研发中心建设等项目。

    招股书介绍，芯碁微装专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务，产品功能涵盖微米到纳米的多领域光刻环节。

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